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线切割机床厂家分析多线切割机的工艺要求


多线机切割晶片的弯曲度(BOW)小,翘曲度(Warp)小,平行度(Tarp)好,总厚度公差(TTV)小,片间切割损耗少,加工晶片表面损伤层浅,粗糙度小,切片加工出片率高,生产效率高,投资回报率高。

今天的多线切割机已经集成了现代制造技术工艺技术,现代控制技术 现代传感技术和新型材料,例如交流伺服电机及驱动系统 工业控制计算机 运动控制卡及总线系统 主轴油雾润滑冷却及间隙密封单元 恒定张力快速走线系统等 由于以上系统的择优选用,使现代多线切割机适用于大直径 IC 硅片,光伏电池衬底超薄片,砷化镓 磷化铟碳化硅 铌酸锂 钽酸锂 光学玻璃等多种硬脆材料的切片加工。

多线切割机的主要技术指标有:

加工工件最大尺寸;卸载方式;钢丝行走方式主轴数;切割线控张力制;最大钢丝速度;线轮直径;钢丝储线容量。
多线切割机的发展趋势
  多线切割机经过多年的发展已经成熟,但任何事物都不会一劳永逸,今后的发展方向应该是大型、快速、高精度、高效益
  (1)、大型是指体积适度加大,质量适度加大、以便一次加工更多材料,增加质量以提高机器稳定度,使晶片加工过程稳定性更好
  (2)、切割线行走速度的提高,有利于加快切割速度提高工作效率、带入砂浆速度的加快可以使砂浆配比改变,使其流动性、渗透性、研磨性更好,从而减少碳化硅、碳化硼、金刚石粉的消耗量,降低生产成本,同时砂浆稀释流动加快使冷却效果更好,使砂浆对热交换器的依赖程度减低
  (3)、机器精度提高使切割线无效磨擦减少,切割线径减小会使加工材料损耗减少,切割晶片的弯曲度、翘曲度、平行度、总厚度公差变好,加工晶片表面损伤层浅,粗糙度小,出片率高
  (4)主轴绕线轮一般采用树脂材料,其耐磨性散热性较差,商家给出单件最长寿命、800、h、线槽磨损深度超过、1、mm,必须送专业厂家磨平重新开槽,工艺复杂费用高,近来用陶瓷材料制作的绕线轮表现出较高的散热性和抗磨损特性,有望最终取代树脂绕线轮
  (5)、镀金刚砂的切割线使用,可使用水冷却,减少了庞大的热交换系统,又可减少磨料的使用,可谓一举多得
  (6)、切削液对多线切割机是非常重要的一环,尤其对大直径、超薄片的切割、首先切削液本身具有不污染环境和被加工材料,对后道工序不构成影响,低黏度、高带沙量、低杂质含量、易于清洗、切削液有专一化的倾向
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